安捷倫真空：分子泵使用中的注意事項
分子泵是渦輪分子泵、牽引分子泵和復合分子泵的統稱，是一種非常常見的獲得高真空和超高真空的設備。分子泵內部有高速旋轉的轉子，支撐轉子平滑轉動的軸承承擔了很大的負荷，...
分子泵是渦輪分子泵、牽引分子泵和復合分子泵的統稱，是一種非常常見的獲得高真空和超高真空的設備。分子泵內部有高速旋轉的轉子，支撐轉子平滑轉動的軸承承擔了很大的負荷，正確的使用和及時的保養，對分子泵軸承乃至整個分子泵的正常工作意義重大。
盡量避免頻繁啟停
分子泵在勻速工作時，轉子葉片僅受到離心力的作用（真空下阻力很小可以忽略不計），即遠離軸心的方向的拉力；而在加速和減速的時候，葉片還受到轉動切線方向的力，相當于對葉片進行彎折的力。顯而易見，對葉片進行彎折對其疲勞壽命的貢獻更大。
另外，分子泵在加速時功率較大，內部發熱比較嚴重，頻繁的啟停（兩次啟動間隔30分鐘）會造成熱量累積，使分子泵內部的溫度過高，加劇軸承磨損。
根據工藝條件選擇適當的冷卻
分子泵的冷卻方式有三種：自然冷卻、強制風冷和水冷。300l/s以下的分子泵，在沒有氣體負載的情況下，可以采用自然冷卻；較大的分子泵或者有一定的氣體負載時，需要選擇強制風冷（風扇冷卻）；對于有些負載很大的應用（比如CVD），或者不方便使用風扇的環境（如輻射環境），需要采取水冷。
無論采取哪種冷卻方式，分子泵工作的環境溫度都要保持在5~35攝氏度之間，采取水冷時，要采用經過處理的軟水，冷卻水的溫度和流量也要滿足說明書的要求。
空擋滑行不可取
分子泵工作時轉速很高（數萬轉/分鐘），加減速過程中，不可避免地要經過某些危險的共振頻率，長時間在這些共振頻率運轉，會增加軸承負荷、進而增加分子泵故障的風險。在真空下自然停泵（空擋滑行）時，由于真空下空氣阻力很小，分子泵轉子要經過幾十分鐘甚至數小時的時間才能完全停止，其中在共振頻率運轉的時間也會比較長。
一般建議分子泵停機時，手動或者通過專用充氣閥（VentValve），通過充氣口充入空氣/氮氣，增加轉子阻力使其快速停機；手動充氣時，要注意控制充氣速度，使停機時間和分子泵啟動時間相當（根據泵的大小不同而不同，一般為3~10分鐘）。
大多數型號的安捷倫分子泵還帶有電磁剎車功能（ActiveStop），可以在不破空的情況下快速停機。
注意監測前級真空
分子泵是一種高真空泵，它必須配合合適的并且性能良好的前級泵才可以正常工作；除了在選型時盡量選擇推薦的前級泵之外，分子泵使用時也要注意監測其排氣口的壓力，避免因前級泵性能下降而使分子泵排氣壓力過高，造成負荷過大，泵溫過高等。
這些情況一定要加軸承吹掃
分子泵所抽的氣體如果含有較多的可凝性氣體（如水汽，有機溶劑等），高濃度的氧氣、腐蝕性氣體，或者粉塵等，需要增配吹掃閥（PurgeValve），工作過程中利用吹掃氣（一般為干燥氮氣）持續對軸承進行吹掃，以達到隔離污染物，保護軸承的目的。
長期存放不用不是延年益壽的秘訣
有用戶會認為，長時間停泵不用對分子泵的損耗會比較小。但是，分子泵長時間停泵后，在表面張力和重力的作用下，軸承內部的潤滑脂可能會出現收縮成團、分布不均勻等現象，反而會影響分子泵的壽命。
為了減少軸承因長期存放而造成的分布不均勻，安捷倫的分子泵控制器內置了“軟啟動”功能。如經過運輸或者停泵的時間超過2個月，可以使用軟啟動功能啟動分子泵，轉速以階梯方式緩慢加速，使得軸承潤滑脂在低速階段有充分時間重新均勻分布。如果存放時間超過10個月，建議送回維修中心，讓分子泵在專用的檢測平臺上按照既定程序加速（Re-channeling），磨合軸承。
有下面這些異常一定要盡早檢修
分子泵是高速旋轉的機械，軸承故障可能會造成泵葉片打碎直接報廢；而當軸承工作狀態不良時，會有一系列的現象，如分子泵無法啟動，運行噪音增大，溫度或功率異常增加等，在排除外界環境和進排氣壓力過高等外界因素后，應盡快停泵，送到維修中心進行檢修。
安捷倫分子泵標準保養服務
安捷倫維修中心提供各型號安捷倫分子泵的標準保養服務，主要項目包括：對整泵進行拆解和清洗、更換密封和軸承套件、動平衡調試和泄漏檢測等。
安捷倫的分子泵設計是免日常維護的。由于工藝環境差異，分子泵的工作壽命差別很大，但是如果分子泵已經工作了很長時間（5年以上），或者出現了噪音、溫度、功率異常，及時的對其進行維護保養可以大大延長其使用壽命。
