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2.1真空閥門
2.1.1真空閥門的分類與型號
在真空系統(tǒng)中,用來切斷或接通管路氣流,改變氣流方向及調(diào)節(jié)氣流量大小的真空系統(tǒng)元件稱為真空閥門。
真空閥門的主要性能包括流導(dǎo)、漏氣率、開閉動作的準(zhǔn)確性和可靠程度,以及閥門的開閉時間。閥門的流導(dǎo)和漏氣率的測試方法參見相關(guān)專業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。閥門的準(zhǔn)確性、可靠程度和開閉時間,則應(yīng)根據(jù)具體的使用情況提出具體的要求。
真空閥門種類繁多,在設(shè)計真空系統(tǒng)時,應(yīng)根據(jù)用途、尺寸、性能、結(jié)構(gòu)等進行選擇。國產(chǎn)真空閥門的型號是按其性能、結(jié)構(gòu)形式、驅(qū)動方式、通道方式及通道直徑大小、材料和用途等進行分類的,見表2-1。

表2-1真空閥門的分類
真空閥門的型號是按如下順序和內(nèi)容確定,基本型號包括①②③、輔助型號包括④⑤⑥,各符號所采用的字母及代表意義見表2-2。

表2-2真空閥門的型號
例如型號為DDCJ50Q,表示的是低真空擋板式電磁閥,直角式,公稱直徑50mm,帶充氣功能閥門。這種閥多用于機械泵的進氣口上,停泵時閥門關(guān)閉,切斷系統(tǒng)的通道保持系統(tǒng)內(nèi)的真空,同時給機械泵泵腔內(nèi)放入大氣,以防止機械泵返油。
2.1.2真空閥門的作用
真空閥門在真空系統(tǒng)中的作用是:
(1)開關(guān)氣路。如圖2-1所示,當(dāng)閥1和閥4關(guān)閉,閥2打開時,機械真空泵8對容器粗抽真空,氣流流經(jīng)真空粗抽管路。當(dāng)閥2關(guān)閉,閥4打開時,機械泵可單獨對擴散泵6預(yù)抽真空。當(dāng)閥1和閥4同時打開時,擴散泵和機械泵可同時工作,對容器進行抽真空,此時氣流流經(jīng)擴散泵。閥門在這種工藝操作中的作用是開關(guān)氣路,改變氣流的流經(jīng)路線。
(2)控制氣流大小,調(diào)節(jié)真空度。在圖2-1中,通過調(diào)節(jié)閥門1的閥蓋的開啟角度,即可調(diào)節(jié)流經(jīng)管路的氣流量大小;真空泵停止工作時關(guān)閉閥2和閥4,通過放氣閥3可以給機械泵的入口放大氣,防止真空泵油的返流;通過調(diào)節(jié)閥5可以調(diào)節(jié)容器內(nèi)的真空度。
(3)定量充氣。如圖2-2所示,在玻璃閥的柱塞上有個一定體積的小洞,當(dāng)小洞轉(zhuǎn)向右邊和高壓氣瓶連通時,小洞中就可充滿高壓氣體;當(dāng)它轉(zhuǎn)向左邊和真空容器連通時,就把該體積的高壓氣體放進容器中去,這樣就起到了定量充氣的作用。

圖2-1真空系統(tǒng)示意圖圖2-2分量玻璃閥
1—高真空閥門;2粗抽真空閥;3—機械泵；放氣閥;4一前級真空閥門;5一壓力調(diào)節(jié)閥;6—擴散泵;7一真空容器;8機械真空泵