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真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)(數(shù)字式熱質(zhì)量流量控制計(jì))

2.2.2數(shù)字式熱質(zhì)量流量控制計(jì) 數(shù)字式熱質(zhì)量流量控制計(jì)的特點(diǎn)有:技術(shù)強(qiáng)大、功能智能、設(shè)計(jì)新穎、使用便利、設(shè)計(jì)緊湊、電池電源、清晰的數(shù)字顯示以及智能報(bào)警。數(shù)字式熱質(zhì)量流量控...



2.2.2數(shù)字式熱質(zhì)量流量控制計(jì)
數(shù)字式熱質(zhì)量流量控制計(jì)的特點(diǎn)有:技術(shù)強(qiáng)大、功能智能、設(shè)計(jì)新穎、使用便利、設(shè)計(jì)緊湊、電池電源、清晰的數(shù)字顯示以及智能報(bào)警。數(shù)字式熱質(zhì)量流量控制計(jì)測(cè)量精確性高、動(dòng)態(tài)量程大,精確度為全量程的±1.0%,調(diào)節(jié)比1:50;可用電池電源或24VDC;除了真值外,總消耗同樣可以被顯示,提高了供應(yīng)系統(tǒng)的透明度;智能報(bào)警功能可用于多種用途;帶有電池的獨(dú)立操作提高了精度,可以替代轉(zhuǎn)子流量計(jì)。同轉(zhuǎn)子流量計(jì)相比,熱質(zhì)量流量控制計(jì)對(duì)壓力和溫度變化不靈敏。熱質(zhì)量流量控制計(jì)采用最先進(jìn)的MEMS技術(shù),具有數(shù)字(ModbusRTU)接口和模擬接口,適用多種氣體,最多可用于10種氣體或氣體混合物的測(cè)量;可利用軟件查看流量和溫度、更改設(shè)定點(diǎn)、選擇被測(cè)量的氣體、顯示測(cè)量數(shù)據(jù)的圖表、調(diào)整控制參數(shù)和監(jiān)控操作狀態(tài)。控制器有一個(gè)密封性好的壓電控制閥,泄漏率通常小于10-4Pa·L/sHe;快速控制響應(yīng)為50ms,大大降低了設(shè)定時(shí)間。
熱質(zhì)量流量控制計(jì)可以安裝在空氣管道中,并直接讀數(shù);用真實(shí)氣體校準(zhǔn),保證了高精確度和可重復(fù)性;多項(xiàng)報(bào)警功能,拓展了流量計(jì)的功能。例如,可設(shè)置限值用于檢測(cè)泄漏;可配置報(bào)警繼電器以承受短時(shí)的限值超出。

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