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磁力傳動式真空動密封
磁力傳動式真空動密封有兩種形式：一種是磁流體真空動密封，另一種是非接觸式磁力傳動真空動密封。
磁流體真空動密封具有低的泄漏率，作為液體密封具有摩擦功耗小、結(jié)構(gòu)簡單、使用方便等優(yōu)點(diǎn)，但它不適用于超高真空，因為超高真空系統(tǒng)一般要進(jìn)行250℃以上的長時間烘烤，而磁流體載體耐受不了這么高的溫度；另外載體也會有蒸發(fā)、凝結(jié)以及磁性微粒凝聚等問題，也可能與被密封的介質(zhì)發(fā)生物理或化學(xué)作用，其使用范圍受到一定限制。
而非接觸式磁力傳動真空動密封，在過去也有過，但僅限于傳遞小轉(zhuǎn)矩、低轉(zhuǎn)速。由于永磁材料本身的性能而限制了使用范圍。自從開發(fā)了鈷基稀土永磁材料后，甘肅省科學(xué)院磁性器件研究所研究了新材料的特性，并總結(jié)了一套獨(dú)創(chuàng)的磁路設(shè)計方法，使得磁力傳動真空動密封的應(yīng)用得到極大的拓展，目前已經(jīng)廣泛地用于真空動密封技術(shù)領(lǐng)域。
1.工作原理及特點(diǎn)
磁力傳動裝置真空動密封的原理如圖5所示。圖5（a）是依靠電機(jī)帶動外面磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)后，通過永磁體產(chǎn)生的磁力作用，將運(yùn)動傳遞到與工作軸相連接的內(nèi)磁轉(zhuǎn)子上，從而實現(xiàn)動力傳遞的目的。密封是通過設(shè)置在內(nèi)、外面磁轉(zhuǎn)子中間氣隙的隔離密封套，將內(nèi)磁轉(zhuǎn)子與工作軸一起封閉在真空容器內(nèi)而實現(xiàn)的。
圖5磁力傳動真空動密封裝置。

圖8平盤式磁力傳動真空動密封裝置結(jié)構(gòu)示意
1.滾動軸承；2.內(nèi)磁轉(zhuǎn)子；3.隔離密封板；4.外磁轉(zhuǎn)子

圖9組合式磁力傳動真空動密封裝置結(jié)構(gòu)示意圖
1.軸承導(dǎo)軌架；2.筒狀隔離密封套；3.外滾動軸承；4.外磁轉(zhuǎn)子；
5.內(nèi)磁轉(zhuǎn)子；6.轉(zhuǎn)軸；7.法蘭；8.樣品托